نظام معالجة الليزر الصناعي
نظام معالجة ليزر إكسيمير الصناعي
,خط إنتاج ليزر إكسيمير مرن
,معايير آلة طلاء الأشعة فوق البنفسجية القابلة للتخصيص
تم تصميم نظام المعالجة بالليزر الإكسيمري الصناعي هذا للتصنيع الدقيق عالي الدقة، وتليين أشباه الموصلات، وزخرفة الأغشية الرقيقة. وهو يدعم التكامل الكامل في خطوط الإنتاج الآلية مع المراقبة في الوقت الحقيقي. يتميز النظام بمصدر إكسيمر محكم الغلق بالغاز مع بصريات طويلة العمر والتحكم في العمليات بمساعدة الذكاء الاصطناعي.
- وحدة مصدر الليزر الإكسيمر
- وحدة تشكيل الشعاع والتجانس
- مرحلة مسح XY عالية السرعة أو وحدة عرض القناع
- روبوت التعامل مع الركيزة المضمنة (عرض المسار القابل للتخصيص)
- نظام إدارة العادم والغاز
- جهاز كمبيوتر للتحكم في العمليات مع مدير الوصفات
| المعلمة | نطاق القيمة (قياسي) | خيار التخصيص |
|---|---|---|
| الطول الموجي | 193 نانومتر / 248 نانومتر / 308 نانومتر | متعدد الطول الموجي للتحويل (مخصص) |
| طاقة النبض القصوى | 0.5 - 1200 مللي جول | ما يصل إلى 2000 مللي جول (مخصص) |
| تردد النبض | 1 - 6000 هرتز | ما يصل إلى 10 كيلو هرتز (مخصص) |
| متوسط القوة | 5 - 300 واط | التحجيم المخصص متاح |
| حجم الشعاع (الخروج) | 10 × 10 ملم | شعاع مستطيل يصل إلى 50 × 50 مم (حسب الطلب) |
| تجانس الشعاع | < ± 3% (σ) | < ± 1% (البصريات المخصصة) |
| تكامل خط الإنتاج | سميما / سيكس / جيم | بروتوكول PLC مخصص (مخصص) |
- التلدين بالسيليكون لشاشات العرض المتقدمة (LTPS)
- MEMS وتقطيع رقائق أشباه الموصلات
- تنشيط سطح البوليمر
- البنية الدقيقة للأجهزة الطبية
- حفر ثنائي الفينيل متعدد الكلور المرن
نحن نقدمالتخصيص الكاملاختيار الطول الموجي، طاقة النبض، حجم مجال المسح، خليط الغاز، طريقة التبريد (هواء / ماء / مبرد)، وبروتوكول اتصال خط الإنتاج. تتوفر أيضًا أذرع توصيل الشعاع المخصصة ومرفقات الفئة 1 عند الطلب.
- > عمر الغاز 2000 ساعة (خليط الغاز الأمثل)
- استقرار الطاقة المدمج (ردود الفعل في الوقت الحقيقي)
- التشخيص عن بعد والصيانة التنبؤية
- انخفاض تكلفة الملكية (LOO) مع وضع توفير الغاز الالتفافي
- تصميم وحدات مدمج لإعادة تشكيل الخط بسرعة
- دعم فني 24/7 (هاتف/عن بعد)
- التثبيت في الموقع وتكامل خط الإنتاج
- تدريب مخصص للمهندسين لديك
- ضمان ممتد يصل إلى 5 سنوات
- برنامج إعادة تعبئة الغاز وتجديد البصريات
- مختومة في حاوية يمكن التحكم فيها بالرطوبة ومبللة بالصدمات
- صندوق بصريات محكم الغلق
- الشحن عن طريق الجو أو البحر مع تتبع في الوقت الحقيقي
- صناديق التصدير تلبي معيار ISPM-15